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4月6日据外媒消息，为半导体芯片光刻设备制造光学元件的卡尔蔡司半导体制造技术公司（以下简称“蔡司SMT”）将在其位于德国黑森州韦茨拉尔（Wetzlar）的工厂开始建设新的光学元件工厂，以生产DUV（深紫外）光刻设备。它计划于2025年完成。 公开资料显示，蔡司SMT是德国领先的光学设备制造商CarlZeiss（卡尔蔡司）的子公司，主要为半导体光刻设备提供光学元件和光掩模系统以及过程控制解决方案。据悉，荷兰半导体曝光设备制造商ASML所用的光学元件也由蔡司SMT提供。蔡司SMT表示，“全球80%